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]    在直播间里大力反驳起来。

    并没有因为差距过大就选择了放弃。

    便可以达到同样的效果。

    但这也不是绝对的。

    是能绕开他们核心专利的技术路线。

    国内已经彻底攻克。

    “别搞笑了!

    虽然上面那些话都是让所里的小伙子打出来的。

    抗蚀剂技术等。

    完全就是个骗局!

    仅凭这套设计图。

    这才是最后得到的光源。

    不需要用复杂的手段来得到极紫外光。

    你还有什么疑问吗?

    彻底打破国外对我们的垄断!”

    就是比193nm的深紫外光DUV光刻机牛逼!

    “不巧的是,老头子正是你所说的徐所长。

    我以华科院院士和半导体研究所所长的身份。

    我很负责的告诉大家。

    大家千万不要被他给骗了!”

    在他为了表明原创的新路线。

    也要不了多长时间就能赶上。”

    芯片专家?”

    陆续放出了十几张设计图。

    而只要有了最关键的设计图。

    其中,又以先前那位专业人士语气最为激烈:

    还想造出光刻机?

    你什么周边设备和技术都没有。

    那位芯片专家立刻当场反击道:

    这两点涉及到高端制造。

    并且,仍有人压根不信国内能研究出崭新的技术路线。

    首先就是所谓的微缩投影光学系统。

    看起来我们和国外仍然存在很大差距。

    内行的谁不在看笑话?

    许多粉丝都在直播间里高呼“墨仔牛逼”。

    还有许多将信将疑的业内人士。

    我们都知道。

    但有几个误区不得不加以澄清。

    “动员半导体研究所的力量?

    半导体研究所下属的光机所。

    你的非球面镜加工工艺呢?

    看到这些弹幕内容。

    就凭你这波长1064nm的激光?

    并讲解了大概的原理之后。

    国内就能在最短的时间内上马EUV光刻项目。

    “虽然我们向来被人瞧不起。

    对以上所说的内容作保。

    半导体研究所的徐所长吗?

    观众们顿时变得无比兴奋。

    这套系统的技术难题。

    有设计图的情况下。

    但内容全都是我说的!

    但这个激光却是用来操控储存环内的电子束。

    却仍旧不遗余力的耻笑道:

    使用的是1064nm的激光。

    虽然对我们来说确实挺困难的。

    看到这行弹幕,网友们瞬间为之哗然。

    我这套技术。

    相应的设备虽没研发。

    光靠全套的设计图。

    但很可惜的是。

    可那位自称芯片专家的网友。

    三年之内,也一定能生产出最先进的光刻机!

    做你的春秋大梦去吧!!”

    但大家始终都在不断努力。

    还想打破国外垄断?

    作为一名芯片设计专家。

    验证了全新技术路线的可行性。

    回到苏墨的直播间。m.yyun.net

    只需要建设好相应的储存环。

    正如我这张设计图上所采用的新技术。

    面对这无情的嘲讽。

    所以这才是迥异于西方的崭新方法。

    所以才能用来充当极紫外光的替代品。

    谁料,苏墨听到这番论述后。

    开什么玩笑?

    反射式掩膜技术。

    哪怕我们放慢脚步追赶。

    听到苏墨的讲解。

    13.5nm的极紫外光EUV光刻机。

    波长越短,制程越先进。

    你以为你是谁?

    这便是我们夏国芯片人的底气!”

    “第二,针对多层膜制备技术。

    直播间里除了一大堆不明就里的吃瓜群众之外。

    已经掌握了相关技术。

    “这位兄弟说的可真是太对了。

    开玩笑也该有个限度!”

    利用电子束绕环一整圈形成的精细微结构。

    你这图纸忽悠忽悠不懂的外行人也就算了。

    国外的非球面镜已经快逼近物理极限。

    “第三,加工非球面镜需要超精密机床。

    直播间里却突然划过一连串的弹幕:

    没造出来是因为没有需求。”

    “就算你有设计图又能怎样?

    以及高精度检测装置。

    比如说精密工件台技术。

    苏墨尚未来得及反驳。

    那么就算是动员整个半导体研究所的力量。

    这所谓的崭新设计路线。

    却是哈哈大笑:

    你的微缩投影光学系统呢?

    要想超过EUV光刻机?

    你拿头来超啊?!!

    “最后,还有一些你没说的东西。

    也就是微聚束。

    你的多层膜制备设备呢?

    最多半年内就能彻底解决。”

    它的波长完全能够覆盖极紫外光的波段。

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