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] “说说吧，到底是怎么搞出来的？”
毕竟，如此国之重器出自张江技术园区，沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
沙领导投去问询的目光。
郑韩脸上挂着得意的笑容。
除了对功耗要求比较高的 CPU、GPU、AI芯片外，其余的工业级芯片用的都是28n以上的技术，比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
“还有良率。”
“理论上是这样，但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势，搭载5n芯片的手机体验，未必就不如3n，就会让3n及以下工艺陷入一种尴尬的地步，飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
沙领导满意道：“我记得是7年前还是8年前，也是在这里，你让我看的是65n干式光刻机，还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机，我本来以为要花10年甚至更长的时间，没想到你给了我们一个大大的惊喜啊！这么快让你们搞出来了！”
沙领导拍了下陆飞的肩膀。
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“看了。”陆飞立刻跟上。
“了不起啊，小陆，你们了不起啊。”
逻辑多年的布局，就能迎来真正的风口！
“说。”
众人两两相望，相视一笑。
郑韩问道：“如果现在逻辑和华为就出现中兴断供的局面，你们又该怎么办呢？”
想彻底围堵华夏芯片的发展，但是却给了国产一个机会，当“国产替代”形成了风潮，华夏半导体就会爆发巨大的潜能。
顿了顿，“可以说，这台DUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的EUV光刻机，只有一代的代差了。”
陆飞笑道：“虽然5n是目前我们的极限，理论上而言，台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的，制程工艺甚至可以冲击到1n，但得到的回报并不会太高。”
沪市，张江技术园区。www.mingcai.me
“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。
“多条路，就多种选择，大胆去试，放手去干，我们永远是你们的坚实后盾。”
“5n是不是就需要EUV光刻机了？”
沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7n制程工艺的芯片对吗？”
沙领导眼里满是赞赏之色。
“如果真地卡脖子，也许暂时会是华夏半导体产业的黑暗，但长远老看，何尝不是我们国产半导体崛起的机会？”
一个敢提，一个敢接。
“有EUV光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7n、5n，但没有EUV光刻机也无妨，有这台DUV浸润式光刻机也可以做到。”
“在曝光完一个区域之后，放置硅晶圆的曝光台就必须快速进行移动，接着曝光下一个需要曝光的区域，想要在这么多次快速移动中实现纳米级别的对准，双工作台就必须做到精度高而且操作时间短，这项技术本来只有ASML有，但现在已经被我们突破了。”
“我知道伱和逻辑这些年明里暗里已经做了很多，但这些都不是关键。”沙领导语气认真道，“芯片才是重中之重，毕竟电动汽车、人工智能这些个领域，都离不开芯片。”
“哪里，哪里，领导。”
陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”
中微半导体总部的四周，布置了密密麻麻的电网和监控器，安保力量更是配备齐全。
“你们在资金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有没有什么需要我们解决的？”
陆飞滔滔不绝，如数家珍。
沙领导慈眉善目。
从光源系统到物镜系统，从浸没系统到双工作台研发，从光刻胶到光掩模版，从光刻机缺陷检测设备到涂胶显影设备，不管是核心组件，还是配套设施，国产的都将慢慢起飞。
陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
“光刻厂和光刻车间？！”
“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5n工艺。”陆飞直截了当地回答。
“嘶～”
“看上去是35项，但实际情况并不对，有很多项目已经被逻辑攻克了，比如航空设计软件、EDA设计软件、触觉传感器……”
“是这样，逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目，那就是研究直接跳过光刻机，建立光刻厂和光刻车间。”
“肯定会，但好在情况并不糟糕。”
确实，28n是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳，我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”
郑韩皱了皱眉。
不少领导感到奇怪，“为什么这么说？制程工艺难道不是越先进越好嘛？”
“有什么感想？”沙领导追问。
领导们来回分析，议论纷纷。
陆飞点了下头，“没错，7n是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5n。”
“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70%，慢慢调试改进，可以达到80%。”
“对，安装和调试一台DUv光刻机需要至少一年的时间。”陆飞一本正经说，“而如果直接造光刻厂，把光刻机的整个供应链连接起来，就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式，转为流水线生产，根据不同的精度需求，大规模生产各类精度的光刻机，就能把光刻机，甚至芯片价格打下去，你们觉得怎么样？”
第841章 最后的战役（二）
陆飞语气里夹着一丝兴奋。
现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。
郑韩好奇道。www.cuihan.me
陆飞如实说：“有的正在被攻克，像激光雷达，我们就在为未来的智能驾驶系统量身定制商用级的激光雷达。”
陆飞不以为然。
“说得好。”
领导们一言不发，目不转睛地盯着运行中的光刻机，虽然不是第一次见到光刻机，但一想到这是第一台国产的DUV浸润式光刻机，都压不住激动的心情，尽可能地往前靠，想凑得更一些，看得更清楚一些。
陆飞点了下头，“对，所以我们现在加班加点地赶制，争取对逻辑和华为动手之前，能多造几台就多造几台。”
但现在，7n，甚至不计任何代价，极限可以推到5n，简直是绰绰有余。
顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。
陆飞嘿然一笑，“反倒是28n、14n和7n这三个节点的工艺才是市场主流，特别是我们国内绝大部份的芯片需求，所以有了国产的DUV浸润式光刻机，基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子，也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”
“即使高通和其他供应商不向我们出售芯片，我们也
“比如呢？”
一座不起眼的工厂里，沙领导、郑韩等一众领导，在陆飞的带领下，来到车间外。
“喔？”
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
“我还有个提议，希望领导们能支持。”
“是，领导！”
陆飞也不客气，立马张口。
陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
“那这期间，复芯、中芯的晶圆代工，有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大？”
沙领导笑道：“对了，你刚刚说安装调试光刻机需要一年，那么再加上制造，岂不是一台光刻机到真正投产，时间会超过一年？”
隔着玻璃窗，就能看到一个巨型公交车大小的光刻机，身穿防尘服的工作人员正在操控这样的庞然大物，一个工作台完成扫描曝光的同时，另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。
陆飞比比画画道：“完全可以比肩AMSL，只用4个光罩、4次曝光，就可以达到7n制程工艺。”
陆飞笑道：“DUV浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
“《科技日报》最近总结了35项制约我们制造工业的卡脖子技术，不知道你有没有看到？”沙领导往工厂外走去。
“因为芯片制造的过程中，并不是一次曝光就可以完成，而是需要经历多次曝光。”
“生产7n的良品率是多少？”
] “说说吧，到底是怎么搞出来的？”
毕竟，如此国之重器出自张江技术园区，沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
沙领导投去问询的目光。
郑韩脸上挂着得意的笑容。
除了对功耗要求比较高的 CPU、GPU、AI芯片外，其余的工业级芯片用的都是28n以上的技术，比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
“还有良率。”
“理论上是这样，但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势，搭载5n芯片的手机体验，未必就不如3n，就会让3n及以下工艺陷入一种尴尬的地步，飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
沙领导满意道：“我记得是7年前还是8年前，也是在这里，你让我看的是65n干式光刻机，还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机，我本来以为要花10年甚至更长的时间，没想到你给了我们一个大大的惊喜啊！这么快让你们搞出来了！”
沙领导拍了下陆飞的肩膀。
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“看了。”陆飞立刻跟上。
“了不起啊，小陆，你们了不起啊。”
逻辑多年的布局，就能迎来真正的风口！
“说。”
众人两两相望，相视一笑。
郑韩问道：“如果现在逻辑和华为就出现中兴断供的局面，你们又该怎么办呢？”
想彻底围堵华夏芯片的发展，但是却给了国产一个机会，当“国产替代”形成了风潮，华夏半导体就会爆发巨大的潜能。
顿了顿，“可以说，这台DUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的EUV光刻机，只有一代的代差了。”
陆飞笑道：“虽然5n是目前我们的极限，理论上而言，台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的，制程工艺甚至可以冲击到1n，但得到的回报并不会太高。”
沪市，张江技术园区。www.mingcai.me
“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。
“多条路，就多种选择，大胆去试，放手去干，我们永远是你们的坚实后盾。”
“5n是不是就需要EUV光刻机了？”
沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7n制程工艺的芯片对吗？”
沙领导眼里满是赞赏之色。
“如果真地卡脖子，也许暂时会是华夏半导体产业的黑暗，但长远老看，何尝不是我们国产半导体崛起的机会？”
一个敢提，一个敢接。
“有EUV光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7n、5n，但没有EUV光刻机也无妨，有这台DUV浸润式光刻机也可以做到。”
“在曝光完一个区域之后，放置硅晶圆的曝光台就必须快速进行移动，接着曝光下一个需要曝光的区域，想要在这么多次快速移动中实现纳米级别的对准，双工作台就必须做到精度高而且操作时间短，这项技术本来只有ASML有，但现在已经被我们突破了。”
“我知道伱和逻辑这些年明里暗里已经做了很多，但这些都不是关键。”沙领导语气认真道，“芯片才是重中之重，毕竟电动汽车、人工智能这些个领域，都离不开芯片。”
“哪里，哪里，领导。”
陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”
中微半导体总部的四周，布置了密密麻麻的电网和监控器，安保力量更是配备齐全。
“你们在资金上、政策上、人才上，或者在其他方面，有没有什么需要我们解决的？”
陆飞滔滔不绝，如数家珍。
沙领导慈眉善目。
从光源系统到物镜系统，从浸没系统到双工作台研发，从光刻胶到光掩模版，从光刻机缺陷检测设备到涂胶显影设备，不管是核心组件，还是配套设施，国产的都将慢慢起飞。
陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
“光刻厂和光刻车间？！”
“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5n工艺。”陆飞直截了当地回答。
“嘶～”
“看上去是35项，但实际情况并不对，有很多项目已经被逻辑攻克了，比如航空设计软件、EDA设计软件、触觉传感器……”
“是这样，逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目，那就是研究直接跳过光刻机，建立光刻厂和光刻车间。”
“肯定会，但好在情况并不糟糕。”
确实，28n是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳，我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”
郑韩皱了皱眉。
不少领导感到奇怪，“为什么这么说？制程工艺难道不是越先进越好嘛？”
“有什么感想？”沙领导追问。
领导们来回分析，议论纷纷。
陆飞点了下头，“没错，7n是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5n。”
“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70%，慢慢调试改进，可以达到80%。”
“对，安装和调试一台DUv光刻机需要至少一年的时间。”陆飞一本正经说，“而如果直接造光刻厂，把光刻机的整个供应链连接起来，就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式，转为流水线生产，根据不同的精度需求，大规模生产各类精度的光刻机，就能把光刻机，甚至芯片价格打下去，你们觉得怎么样？”
第841章 最后的战役（二）
陆飞语气里夹着一丝兴奋。
现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。
郑韩好奇道。www.cuihan.me
陆飞如实说：“有的正在被攻克，像激光雷达，我们就在为未来的智能驾驶系统量身定制商用级的激光雷达。”
陆飞不以为然。
“说得好。”
领导们一言不发，目不转睛地盯着运行中的光刻机，虽然不是第一次见到光刻机，但一想到这是第一台国产的DUV浸润式光刻机，都压不住激动的心情，尽可能地往前靠，想凑得更一些，看得更清楚一些。
陆飞点了下头，“对，所以我们现在加班加点地赶制，争取对逻辑和华为动手之前，能多造几台就多造几台。”
但现在，7n，甚至不计任何代价，极限可以推到5n，简直是绰绰有余。
顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。
陆飞嘿然一笑，“反倒是28n、14n和7n这三个节点的工艺才是市场主流，特别是我们国内绝大部份的芯片需求，所以有了国产的DUV浸润式光刻机，基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子，也能保证支撑到我们研发出EUV光刻机的那一天。”
“即使高通和其他供应商不向我们出售芯片，我们也
“比如呢？”
一座不起眼的工厂里，沙领导、郑韩等一众领导，在陆飞的带领下，来到车间外。
“喔？”
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
“我还有个提议，希望领导们能支持。”
“是，领导！”
陆飞也不客气，立马张口。
陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
“那这期间，复芯、中芯的晶圆代工，有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大？”
沙领导笑道：“对了，你刚刚说安装调试光刻机需要一年，那么再加上制造，岂不是一台光刻机到真正投产，时间会超过一年？”
隔着玻璃窗，就能看到一个巨型公交车大小的光刻机，身穿防尘服的工作人员正在操控这样的庞然大物，一个工作台完成扫描曝光的同时，另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。
陆飞比比画画道：“完全可以比肩AMSL，只用4个光罩、4次曝光，就可以达到7n制程工艺。”
陆飞笑道：“DUV浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
“《科技日报》最近总结了35项制约我们制造工业的卡脖子技术，不知道你有没有看到？”沙领导往工厂外走去。
“因为芯片制造的过程中，并不是一次曝光就可以完成，而是需要经历多次曝光。”
“生产7n的良品率是多少？”
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